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使用MEMS加工技术强化了成膜措施，阿自倍尔蓝宝石隔膜真空计上市

2023年2月13日
阿自倍尔株式会社

阿自倍尔株式会社（总部：千代田区丸之内2-7-3 社长：山本清博）使用MEMS^*1加工技术强化了成膜^*2措施，于1月25日开始销售型号V8的蓝宝石隔膜真空计。

半导体工艺日益精进，与此同时，前工程的成膜和蚀刻中使用的气体种类也在增加。
根据工艺气体的种类，有时会在该工序中使用的真空计的传感器隔膜上形成膜，发生被称为沉积的现象，所以会发生零点偏移的现象。因此，会增加真空计的调整频率，无法按计划进行生产，这对半导体成膜和蚀刻装置的用户来说是一个大问题。

为了解决因使用新的气体而不断产生的这一课题，本公司开发并销售了新产品。此次开始销售的型号V8产品对传感器结构和通路等进行了全面的改进。使用MEMS技术，将传感器表面加工成凹凸不平的，尽量切断膜的附着。另外，对以往产品的平面传感器也进行了应力^*3平衡的改进，使传感器膜片的表面不易弯曲。通过这些措施，对因沉积而产生的零点偏移课题进行了改进，为本公司以往产品蓝宝石隔膜真空计 型号SPG的十分之一。

另外，还在产品阵容中增加了能够在250℃的高温下使用的分离型产品，能够适应伴随成膜工序中使用的ALD^*4装置的工艺气体的变化而产生的高温环境。

特点

• 更好的成膜性能
  运用MEMS加工技术，在成膜时将偏移量改进为本公司以往产品的十分之一。
• 耐250℃的高温
  为了对应过程气体的变化，增加高温规格的分离型（型号 V8S）的产品阵容。
• 体积更小，占用空间更少
  提高内部零部件的空间效率，实现与本公司以往产品相比体积缩小40%。

点击这里查看商品详细信息

https://www.azbil.com/cn/products/factory/factory-product/transmitter/pressure/v8/index.html

本公司在azbil集团的“以人为中心的自动化”企业理念指引下，以实现对可持续发展社会“直接”做出贡献和可持续发展为目标，今后也将继续提供能够解决生产现场的课题和满足客户需求的产品和服务。

^*1 MEMS：Micro Electro Mechanical Systems的略称。将微小的电气元件和机械元件整合到一个芯片中，包括传感器在内的各种设备和系统
^*2 成膜：薄膜沉积工艺。是指半导体制造工序中生成薄膜的成膜工序。
^*3 应力：受到外力时，零件内部产生的内力。
^*4 ALD：Atomic Layer Deposition的略称。原子层沉积技术是一种利用真空的成膜技术。

*所刊登信息为发布日当天的信息。