质量流量计/质量流量控制器

搭载有微处理器、具有⾼速应答、低圧损、检测范围大的特长，实现了气体流量检测・控制。

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  质量流量计

  气体用质量流量计是检测部采用了本公司独立开发的热式流速传感器「μF传感器（Micro Flow Sensor）」的质量流量计。

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  质量流量控制器

  整合了独立开发的「μF传感器（Micro Sensor）」和阿自倍尔的控制技术，同时具有快速响应性能和高功能的质量流量控制器。