本产品使用阿自倍尔在气体流量计有着丰富积累的MEMS传感器技术，结合耐腐蚀性高的石英玻璃流路，实现了 以往的测量方式难以达到的数mL/min的微小液体流量的瞬时/累计流量的高再现性测量。与传统测量方式相比，不易受到流体状态变化（气泡、脉动、流体温度等）的影响（根据情况可能需要修改设定),可简单进行微小流量测量。通过测量流量，可以取代泵旋转数的管理、重量测量、流体供给时间管理等替代性方案，从而实现更可靠的数据管理。

可测量数mL/min的微小流量

采用MEMS传感测量技术的热式测量原理，实现了以往技术难以 达到的「数mL/min」的微小液体流量测量
（最小测量值：0.1mL/min、10mL/min量程)

小巧轻量化、安装简单

与以往产品相比明显更小巧轻便
使用内附的安装支架 可从上方（水平配管时）简单安装
无需另配转换器（放大器)
可安装于垂直配管

直线流路

由于是直线流路，压力损失小，且无积液 残留，具有优异的清洗性。

不受安装场所、 流体种类限制

符合IP65防护等级。
产品表面未使用任何金属材料，可在有液体飞沫的环境 中使用，提高了对腐蚀性流体的耐受性。
由于接液部分是由石英玻璃（流路）和含氟树脂（接头） 构成，传感器不接触液体，因此可使用多种流体
(不腐蚀 石英玻璃和含氟树脂的流体）。

测量原理

补偿前和补偿后的输出特性

测量量程会受到流体的热传导率的影响而变化，但是使用补偿功能可以调配输出特性。

推荐应用例

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