蓝宝石隔膜真空计
型号 V8C/V8S

CEUKCAKC

EtherCAT

蓝宝石隔膜真空计型号 V8,通过应用MEMS加工技术的传感器,改善了耐沉积性能。
受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石,型号 V8S现在可以支持在高温环境中使用。

通过提高耐沉积性能,减少停机时间

应用MEMS加工技术,改善了漂移量。

应力平衡结构
增加感压部的外周部厚度,
通过抵消外周部和中心部的应力平衡,
减少零点漂移

V8传感器结构

应力平衡结构

凹凸传感器
感压部表面进行凹凸加工,
切断附着膜,减少沉积物的应力影响

凹凸传感器

可应对过程气体的更高温度

通过基板部分和传感器部的分离及使用材料的改善,型号 V8S现在可以支持在高温环境中使用。

通过小型化减少占用空间

提高了内部组件的空间利用率,减少了体积。(与本公司以往产品相比)


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