>> P.15
アプリケーション事例アプリケーション事例半導体・LCD製造液面レベル検出薬液タンク、洗浄槽、冷却水などの漏液検出液面レベル検出リードフレーム検出ウエハアライメントガラス基板のXYΘ計測タンク挿入液面ファイバユニットHPF-D027(チューブ径Φ6)HPF-D033(チューブ径Φ4)耐熱105℃PFAチューブ、内部部品を全て樹脂で構成、金属汚染の心配がありません。独自の液だれ構造により誤動作を防ぎます。高精度レーザ位置計測センサ(透過)K1Gシリーズ※当社規定条件による検出繰返し精度±1ΜM以下高精度レーザ位置計測センサ(透過)K1Gシリーズ透明度の高いガラスウエハやガリウムヒ素ウエハも高精度かつ、安定した計測が可能です。ノッチ検出時の変動偏芯による変動050010001500200025003000350040004500500055006000650070002000400600800100012001400160018002000時間[MS]位置[MM]3チャンネルのセンサヘッドをマルチチャンネルコントローラに接続する事で、ガラス基板のズレ量演算(X、Y、Θ)をプログラムレスで実現できます。※当社規定条件による検出繰返し精度±5ΜM以下パイプ取付液面ファイバユニットHPF-T032/T032E/T034/T034E16光軸と透過屈折方式により安定検出を実現。パイプ径TO32Φ3∼13、TO34Φ8∼19に対応します。16光軸で気泡・水滴の影響を防ぎます。防爆漏液ファイバユニットHPF-D040HPF-D040HPQ-Dシリーズ防爆雰囲気でのご使用はファイバタイプをご選定ください。省スペースで簡単メンテ、水・薬液の検出の他、絶縁冷媒等の漏液も検出が可能です。アンプ内蔵形漏液スイッチHPQ-Dシリーズ/HPQ-DPシリーズリードフレームなど穴が開いているワークを反射形で検出する場合、十分な光量が得られない場合があります。広光芒の光学系にすることで、広い範囲からの反射光量が得られ、安定検出が可能となります。反射形アレイファイバユニットHPF-D026A-077製品詳細掲載ページB-001製品詳細掲載ページB-001製品詳細掲載ページA-079A-083製品詳細掲載ページA-073製品詳細掲載ページA-025製品詳細掲載ページ015016製品の最新情報はこちらからWWW.COMPOCLUB.COMWEBサービス製品の最新情報はこちらからWWW.COMPOCLUB.COMWEBサービス
| < 
| 
> | 
>>
