>> P.B-002
WEBサービスWWW.COMPOCLUB.COMーンレ計測ガ計測ガ判別0.1ΜMの分解能の実現で、高精度計測を可能にしました。「汚れ検出機能」の搭載により予防保全に貢献できます。3チャンネルのセンサヘッドをマルチチャンネルコントローラに接続する事で、ガラス基板のズレ量演算(X、Y、Θ)をプログラムレスで実現できます。応答速度250ΜSの実現で、搬送中のガラス基板の異常を見逃しません。イベントログ機能の搭載で、トラブル時の状況解析も迅速に実施できます。ルー計測ー計測コントローラには、最大4チャンネルのセンサを接続でき、複数箇所の同期した計測が実現できる為、正確な計測を実現できます。平行光レーザーとイメージセンサの組合せで、ワークエッジ位置の高精度な計測を実現します。0.1ΜMの分解能の実現で、高精度計測を可能にしました。センサヘッドが小型の為、限られたスペースでのインライン計測を実現します。インル計測透明度の高いガラスウエハやガリウムヒ素ウエハも高精度かつ、安定した計測が可能です。センサヘッド2チャンネルで、コントローラの演算機能を使用する事により蛇行計測とフィルム幅計測を同時に実現します。配線作業の軽減には、コード付コネクタが有効ですH-001ページをご覧くださいB-002イ計測判別センサイイーイイクイニルイ計測形レーザセンサテクニカルガイド判別形超音波センサテクニカルガイドK1GOADM
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