熱式微小液体流量計
熱式微小液体流量計 形 F7M
微小な液体流量を高精度に測定しプロセスの品質改善・向上に貢献
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー CP開発部 山崎 吉夫
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー CPマーケティング部 千崎 昌彦
azbil Technical Review 2020年 特集：社会課題の解決に貢献するazbilグループの多様性
微小液体流量の計測を可能にする熱式液体微小流量計の開発
近年、製造プロセスの高度化や品質要求の高まりにより、微小な流量の高精度計測が求められている。今回、30mL/min以下の微小流量に対して精度±5%RDでの計測が可能な熱式液体微小流量計、形 F7Mを開発した。形 F7Mは他にも低圧力損失、高信頼性、小型などの特長を備えている。これらの特長を実現するために石英ガラス管とMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）センサを組み合わせた流量センサモジュール、小型直管流路構造、および微小流量を高精度に計測できる実流計測設備などの技術を開発した。形 F7Mの特長と技術開発内容について報告する。
アズビル株式会社 アドバンスオートメーションカンパニー 小田 康彦