非接触距離計測
位相型回折格子を用いた光学式測距技術の開発
光学式非接触距離計測法の1つである三角測量法が持つ課題を解決する測距技術を開発した。本技術は測定対象からの拡散反射光の波面を位相型回折格子により2分岐させ，発生する干渉縞を受光素子で受光し，干渉縞空間周波数から波面の曲率半径，すなわち測定対象までの距離を求める技術である。本技術は三角測量法と比べ，曲面や凹みなど測定対象の形状に強いことが特長である。また，測定対象からの強い正反射光による影響を低減している。評価サンプルとして金属ピンゲージの形状を，三角測量法と今回開発した方法で測定し，実効性を確認した。
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 藤原 久利
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 古谷 雅
アズビル株式会社 技術開発本部センシングデバイス技術部 藤井 絵理