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azbilグループの技術研究報告書「azbil Technical Review」を発行 ― 脱炭素化や生産高度化を支えるazbilの特徴あるMEMSの技術をテーマにご紹介　―

2023年4月18日
アズビル株式会社

アズビル株式会社（本社：千代田区丸の内2-7-3 社長：山本清博）は、azbilグループの研究開発、製品開発などを紹介した『azbilグループ 技術研究報告書 azbil Technical Review(テクニカルレビュー)』2023年4月発行号を発行しました。

azbilグループでは、「技術・製品を基盤に、ソリューション展開で顧客・社会の長期パートナーになる」を基本方針の一つと位置づけ、その研究成果や技術力、ソリューション力を紹介する技術研究報告書として、「azbil Technical Review」を年1回発行しています。
「人を中心としたオートメーション」の理念の下、持続可能な社会へ「直列」に繋がる貢献と持続的な成長を目指し、社会的課題の解決やお客さまのニーズに応えるために取り組んでいるazbilグループの技術研究・商品開発の成果をご覧いただけます。

今号の「巻頭言」として、東北大学シニアリサーチフェロー （マイクロシステム融合研究開発センター）兼　株式会社メムス・コア　CTOである江刺正喜氏に「センサなどの製作に用いられる半導体微細加工技術:MEMS」と題してご寄稿いただき、当社アドバイザーの西本淳哉が「特集に寄せて」を執筆しています。
本編では、特集論文7編に加え、一般論文4編や当社製品に関する論文1編、計12編の技術論文を掲載しています。

【ご参考】

『azbilテクニカルレビュー　2023年4月発行号』の内容
＜巻頭言＞

• センサなどの製作に用いられる半導体微細加工技術:MEMS
  東北大学シニアリサーチフェロー （マイクロシステム融合研究開発センター） 兼
  株式会社メムス・コア　CTO　　江刺正喜氏


• 特集に寄せて
  アズビル株式会社 アドバイザー　　西本淳哉

＜特集論文＞

• アズビルMEMSの歴史と今後の展望
• 小型化，プロセス耐性を高めたサファイアリニューアル真空計の開発
• MEMS技術を駆使して過大圧保護機構を集積化した超高耐圧差圧センサの開発
• オイルフリー高感度圧力センサの開発と応用検討
• ユーザビリティを向上させたマスフローコントローラの開発
• MEMSセンサの能力を最大限に発揮させるセンサパッケージング技術
• 新クリーンルームの設計コンセプト
  ─ 独創的MEMSセンサの効率的な市場導入促進に向けて

＜一般論文＞

• savic-net™ FX/G5におけるサイバーセキュリティ対応
• 個別快適ニーズに対応するための空調ゾーン細分化技術
• クラウドMESを活用した生産現場におけるIT基盤の構築とDX推進
• Pharmanage™Ⅴ 顧客固有の業務プロセスのシステム化を容易にする医薬向けMESの開発

＜製品紹介＞

• マルチエリア対応ユーザターミナル（QJ-1201）
  ─ savic-net™ G5システムに接続可能な最大8エリア対応の表示設定器

azbil Technical Reviewに掲載されている技術論文は、過年度発行分を含め下記よりご覧いただけます。
https://www.azbil.com/jp/corporate/pr/library/review/index.html

*1　MEMS：Micro Electro Mechanical Systemsの略。微小な電気要素と機械要素を一つのチップに組み込んだ、センサをはじめとする各種デバイス／システム。
*savic-net、savic-net FX、Pharmanageはアズビル株式会社の商標です。

*掲載されている情報は、発表日現在のものです。