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アズビルのサファイア隔膜真空計が2023年度グッドデザイン賞を受賞

2023年10月5日
アズビル株式会社

アズビル株式会社（本社：千代田区丸の内2-7-3　社長：山本清博）は、当社の「サファイア隔膜真空計 形V8C」が、2023年度グッドデザイン賞（主催：公益財団法人日本デザイン振興会）を受賞したことをお知らせいたします。

サファイア隔膜真空計 形V8C

サファイア隔膜真空計は、サファイア静電容量式圧力センサを使用した真空度を計測する機器です。半導体製造プロセスの成膜工程では、デポ^*1と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシフトする現象により、正しい計測が難しくなる課題があります。本製品は、MEMS^*2技術を用いてデポ対策を強化したセンサを搭載しており、現場の安定操業・品質管理に大きく貢献します。
半導体製造工程の成膜・エッチング装置に設置される真空計は、限られたスペースでの設置に伴い、筐体サイズの最小化を強く要求されます。また、設置方向や配線の取り回しによって、インジケータ類や設定ボタンなどの視認性や操作性、配線へのアクセス性が影響を受けている現状があります。本製品は、半導体製造装置を構成する様々な制御部品や配管設備の近傍に実装する計測器として、視覚的なばらつきを低減し、情報の可読性向上を実現しました。

＜審査委員の評価＞
「細部まで思慮の行き届いた緻密なデザインである。直線的な造形要素と整然とした排熱スリットは、測定機器に求められる精度感を高め、製品へ適度なアイデンティティを与えている。また、従来製品と比較して40％の小型化によって、設置の自由度と環境への配慮を高めており、製品の基本性能の高さとブランドへの信頼感を外観に適切に表出したデザインである。」と評価されました。

当社はazbilグループ理念である「人を中心としたオートメーション」の下、ユーザーの使いやすさ、分かりやすさを踏まえた製品デザインを展開し、社会のニーズに応えてまいります。

^*1 デポ：デポジションの略語で堆積の意味がある。半導体製造工程では薄膜を生成する成膜工程を指す。
^*2 MEMS：Micro Electro Mechanical Systemsの略。微小な電気要素と機械要素を一つのチップに組み込んだ、センサをはじめとする各種デバイス／システム。

*掲載されている情報は、発表日現在のものです。